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KASHIYAMA樫山工業節能干式真空泵MU20N18X 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

KASHIYAMA樫山工業MU1218X噪音干式真空泵 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

日本KASHIYAMA樫山工業工業真空泵MU600X 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

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KASHIYAMA樫山工業耐加工干式真空泵MU180X 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

KASHIYAMA樫山工業MU100X耐加工干式真空泵 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。