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KASHIYAMA樫山工業NeoDry7E風冷干式真空泵 采用在泵室中不使用油的干式方式“清潔排氣

KASHIYAMA樫山工業MU1218P/H噪音干式真空泵 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

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