ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵LS600A-C

ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵LS600A-C

• 在接近大氣壓時的抽速可達 80 m³ /h，與傳統真空泵相比，抽氣時間可縮短約 20%。

• 標配的專用消音器也解決了干式真空泵固有的噪音問題。 極限壓力下的噪音值小于 61 dB（A），即使在運行過程中也不明顯。 (*1)

• C 規格中標配的 ECO-SHOCK 技術是 ULVAC 專有的節能技術。 極限壓力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)

• “Model：LS" 不需要軸封氣體。 在主要排放氮氣和空氣的清潔工藝中，可以降低運行成本。 (*3)

• 對于想要進一步提高抽速的用戶，我們建議使用機械增壓泵。 120~ 通過組合1200 米³/h 是可訪問的。

(*1) LS120A-C
時 （*2） C 型
（*3） L 規格也可流吹掃氣體

C 規格：清潔工藝 （LS***A-C） 特點
：內置 ECO-SHOCK 的低功耗型
應用：用于清潔排氣和_N2 排氣、濺射、氣相沉積、粘合、負載鎖定室、TMP 輔助等。

L 規格： 輕工藝 （LS***A-L） 特點
： 具有表面處理和吹掃功能的
輕工藝類型 應用： 用于水蒸氣和揮發性化學廢氣等輕工藝、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業應用等。