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產(chǎn)品簡介
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N干式真空泵是節(jié)能、高負荷工藝的理想選擇能夠在重負荷下進行處理兼容高溫控制節(jié)能采用耐腐蝕材料標(biāo)準耐腐蝕性增強選項在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
產(chǎn)品分類
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
荏原 （EBARA） 高溫技術(shù)支持高負荷工藝，在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物。 由于其高節(jié)能性能，可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標(biāo)配耐腐蝕材料，還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容，可以處理各種高負荷工藝。
| 型 | 單位 | EV-M20N 系列 | EV-M102N 系列 | EV-M202N 系列 | EV-M302N 系列 | EV-M502N 系列 | EV-M505SF 系列 | 電動車 EV-M802N | 電動叉車 EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進氣口 | 西北 40 | ISO100 認證 | ISO100 認證 | ISO100 認證 | ISO160 認證 | ISO160 認證 | ISO200 認證 | ISO200 認證 | ISO200 認證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | 最多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 近似質(zhì)量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
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