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日本供應EBARA荏原干式真空泵 EMT397M 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

日本供應EBARA荏原干式真空泵EV-PA500 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL