Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復合分子泵TG1307M

Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復合分子泵TG1307M

新型磁浮軸承型渦輪分子泵 TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特點 省電設計 運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。 各種通信規格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT 國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE 半導體制造設備 FPD 制造設備 太陽能電池制造設備 玻璃和鏡頭等光學元件的加工 薄膜加工 加速器/空間環境試驗設備