搭載液體質流傳感器并內置壓電控制閥的高性能數(shù)字通訊液體質流控制器。 該產(chǎn)品標配液體用流量傳感器與高性能壓電控制閥。通過使用液體質流傳感器測量當前流量，并反饋控制壓電閥的開度，從而實現(xiàn)高速的且自動地控制液體質量流量。 通過使用液體質量流量傳感器測量電流質量流量并反饋控制壓電閥的打開，可以高速自動控制液體質量流量。

連續(xù)控制微流速，無脈動

計量泵是一種方便的產(chǎn)品，可以流出一定量的液體，但它有活動部件，因此會產(chǎn)生脈動。 Lintec 的液體質量流量控制器在正確壓力和恒定壓力下加壓時提供穩(wěn)定的流量控制，無脈動。

真空設備的液體控制

當二次側處于真空狀態(tài)時，液體會逸出，容積式時難以控制流量。 液體質量流量控制器（LC-3000系列）集成了控制閥和質量流量傳感器，在適當?shù)膲翰顥l件下，無論二次壓力如何，都可以控制流量。